MIDAS-E-HFX | Honeywell Midas® HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) HF 0–12 جزء بالمليون
MIDAS-E-HFX هو خرطوشة Honeywell Midas® لمدة سنتين من النوع E للـ HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) (عائلة HF)، نطاق HF 0–12 جزء بالمليون، كهربائي كيميائي مفاعل التحليل الحراري لـ NF₃. يتم توصيله إلى جهاز الإرسال المستخلص MIDAS-T-004 — وليس إلى رأس الانتشار Sensepoint XCD. سطر العينة يصل إلى 30 م FEP بمعدل ~500 مليلتر/دقيقة.

أشكال ميكانيكية وأسلاك




فك رقم القطعة
| الجزء | المعنى | هذا الرمز |
|---|---|---|
| MIDAS | Honeywell Midas® الاستخراجي | MIDAS |
| E | خرطوشة لمدة سنتين | E |
| HFX | HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) | HFX |
المواصفات
| الفئة | خرطوش · سنتان |
|---|---|
| الغاز | عائلة HF / HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) |
| المدى | HF 0–12 جزء في المليون |
| المبدأ | محلل كهربائي حراري لـ NF₃ |
| التدفق | تقريباً 500 مل/دقيقة |
| طول العينة | 2–30 م FEP |
| التوريد | 24 فولت تيار مستمر أو PoE 48 فولت |
| المخرجات | 0–21 مللي أمبير 3 مرحلات Modbus TCP/PoE |
| درجة الحرارة | 0–40 °م (0–30 °م مع المحلل الحراري) |
| الحجم / الكتلة | 150×65×153 مم / 0.8 كغ |
| الموافقات | CE، EN 50270، UL 61010-1، IEEE 802.3af |
المرسل 150×65×153 مم / 0.8 كجم؛ محلل NF₃ الحراري 70×63×85 مم / 0.41 كجم؛ محلل PFC عالي الحرارة 100×101×140 مم / 1.36 كجم.
لماذا هذا الرمز
Midas هو استخراجي: تجلس الخلية في خزانة الأدوات بينما يسحب FEP العينة من صندوق الصمام. يستخدم HF / BF₃ / WF₆ / NF₃(00P) المحرّك الحراري الكهربائي لـ NF₃. الأنواع المحللة حرارياً تحتاج إلى MIDAS-T-00P / T-HTP / T-NP1 أو أن الخرطوشة لن تقرأ.
الملحقات وقطع الغيار
MIDAS-E-HFX يتوافق مع MIDAS-T-004. مضخة MIDAS-A-007، فلتر داخلي MIDAS-A-009. خرطوشة الغاز نفسه لمدة عام واحد S هي الأخت القصيرة الضمان. ملاحظات المعايرة موجودة product-2679.
تطبيقات نموذجية
خزائن الغاز، VMBs، المقاعد الرطبة وعادم CVD/ETCH. MIDAS-E-HFX يقفل الغاز وعمر الخرطوشة؛ جهاز إرسال اقتصادي، مضخة A-007 ومرشح داخلي A-009 على دورة PM.
مقارنة
| P/N | النوع. | الغاز | المدى |
|---|---|---|---|
| MIDAS-S-HFX | خرطوش · سنة | عائلة HF | HF 0–12 جزء في المليون |
| MIDAS-T-004 | مرسل استخلاصي | MIDAS-T-004 | — |
| MIDAS-A-007 | قطعة غيار | MIDAS-A-007 | — |
| MIDAS-E-ASH | خرطوش · سنتان | AsH₃/GeH₄ | AsH₃ 0–200 جزء في المليار / GeH₄ 0–800 جزء في المليار |
| MIDAS-E-B2H | خرطوش · سنتان | B₂H₆ | 0–400 جزء في المليار |
| MIDAS-E-BR2 | خرطوش · سنتان | Br₂/ClO₂ | 0–0.4 جزء في المليون |
| MIDAS-E-CFH | خرطوش · سنتان | PFC | جزء في المليون PFC |
التركيب وخط العينة
ركّب MIDAS-T-004 على الحائط على الهيكل المعد مسبقًا أو مجموعة DIN A-036، ثم أدخل MIDAS-E-HFX. عينة 1/8 بوصة ID × 1/4 بوصة OD FEP حتى 30 م؛ عادم 1/4 بوصة ID × 3/8 بوصة OD حتى 30 م. فلتر نهاية الخط 0780248 أو 1830-0055/0027 حسب الغاز. 24 فولت تيار مستمر (−15٪/ +10٪) أو PoE 48 فولت؛ حمل البيروليزر حتى 12.95 واط. 0–40 °C، 0–30 °C مع البيروليزر.
أسئلة شائعة
- فاصل المعايرة؟
- اتبع الكود المحلي وإرشادات الشركة المصنعة باستخدام غاز معتمد.
- الاستخدام في منطقة مفتوحة في الهواء الطلق؟
- ميداس يستهدف خزانات الاستخلاص / الأدوات؛ لاختيار الانتشار في المناطق المفتوحة اختر عائلة أخرى.
- تغيير الغاز في الميدان؟
- عادةً ما يتم استبدال الخرطوشة المطابقة وإعادة المعايرة؛ بعض الغازات تحتاج إلى محلل حراري.
- ما فئة هذه الصفحة؟
- فئة الكتالوج: sensor-e.
- ملاحظات التثبيت؟
- تحقق من أنابيب العينة، التدفق والتسريبات؛ قم بالتهوية/التصريف وفقًا للدليل.
وثائق
ورقة بيانات PDF · دليل صيني · دليل فني باللغة الإنجليزية · مصفوفة عائلة Midas
التسعير
المخزون حسب الدفعة. إذا نفد خرطوش E فانظر خرطوش S لنفس الغاز. غازات التفكك الحراري تتطلب طلب المفكك مع المرسل.
التوفر والاستفسار
التوفر: غير متوفر حاليًا — نقبل الطلبات؛ مدة التسليم حوالي 16 أسابيع. اطلب عرض سعر مع رقم القطعة الكامل MIDAS-E-HFX والغاز/المدى والاعتماد.